Acquisition d’un panneau de distribution de gaz pour l’institut Pascal (UMR6602 - CNRS)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS Moy700 Rhone Auvergne) · Rhône
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Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS Moy700 Rhone Auvergne) · Rhône
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS Umr 9197 Neuro-Psi) · Essonne
Fourniture, livraison, installation et mise en ordre de marche d’un four perméation pour un mélangeur de gaz
Suite à l’achat d’un nouvel équipement PVD/CVD/ALD, le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition de 2 systèmes d’abattements (scrubbers). Le fournisseur de ces systèmes d’abattements (scrubbers) devra : - Livrer les systèmes d’abattements (scrubbers) ainsi que leurs accessoires (Raccords, télécommande, …). La livraison est souhaitée le 01/07/2026. - Installer les systèmes d’abattements (scrubbers). - Démarrer les systèmes d’abattements (scrubbers) et vérifier leurs performances. - Faire l’étude, la réalisation, la fourniture du boitier et ses câbles ainsi que le test de l’interfaçage avec l’équipement END300F de la société Applied Materials. (Démarrage/arrêt, mise en idle du scrubber si nécessaire, remontée d’alarme sur équipement avec coupure gaz équipement, …). - Fournir un rapport de démarrage (configuration, paramètres, tests, …).
Fourniture, livraison, installation et mise en ordre de marche d’un four perméation pour un mélangeur de gaz
Fourniture, livraison et mise en service d’une nouvelle colonne d’abattement d’effluents gazeux de matériaux III-V élaborés par MOCVD en salle blanche (ISO7) dans les locaux de THALES RT Palaiseau pour le C2N du CNRS.
Fourniture, livraison, installation et mise en ordre de marche d’un système mobile pour préparer des mélanges gazeux pour l’Unité de Chimie Environnementale et Interactions sur le Vivant (UCEIV)
Acquisition d’un panneau de distribution de gaz pour l’institut Pascal (UMR6602 - CNRS)
2023-035-Lot 3 : Système d’abattement pour le réacteur de gravure ICP
Enceinte externe de distribution de gaz, connectée à une plateforme MOCVD